Kompensator
01
Bælgkompensator til kraftvakuumfeltet
Produktfunktioner
Vakuumtæthed: Ved at anvende højpræcisionssvejseteknologi og en speciel tætningsstruktur garanterer de ingen lækage i miljøer med højt vakuum fra 10⁻⁸ Pa·m³/s til 10⁻¹¹ Pa·m³/s og opfylder dermed de strenge krav fra industrier som halvledere og solceller.
Forskydningskompensation: Gennem bælgens elastiske deformation absorberer de aksiale, laterale og vinkelforskydninger, hvilket undgår spændingskoncentration i rørledninger forårsaget af termisk udvidelse/kontraktion eller udstyrets vibrationer og forlænger udstyrets levetid.
Vibrations- og støjreduktion: Den fleksible struktur kan effektivt reducere vibrationer og støj, der overføres fra udstyr som vakuumpumper og turbomolekylære pumper, hvilket forbedrer stabiliteten af systemets drift.
Korrosions- og højtemperaturbestandighed: De er fremstillet af rustfrit stål eller speciallegeringer og er velegnede til ætsende gasser (såsom sure gasser i CVD-processer) og miljøer med høje temperaturer (-200 ℃ til +450 ℃).
Anvendelsesområde
Halvleder- og elektronikindustri: Anvendes i vakuumrørledningsforbindelser til udstyr inden for waferfremstilling, ætsning, belægning (PVD/CVD) osv., hvilket sikrer høj renlighed og forureningsfri transmission.
Vakuumpumpesystemer: Forbundet med rodpumper, roterende lamelpumper, molekylpumper osv. for at kompensere for vibrationer og termiske forskydninger og forbedre tætningsevnen.
Vakuumventiler og kammerforbindelser: I vakuumbelægningsmaskiner og elektronstrålesvejseudstyr fungerer de som fleksible overgangskomponenter mellem ventiler og kamre og forhindrer lækagerisici forårsaget af stive forbindelser.
Videnskabelig forskning og medicinsk udstyr: Anvendes i præcisionsinstrumenter såsom partikelacceleratorer, elektronmikroskoper og vakuumfrysetørrere for at sikre stabiliteten i højvakuummiljøer.
Ny energi- og fotovoltaisk industri: Anvendes i processer som solcellebelægning og vakuumtørring af lithiumbatterier, og kan modstå høje temperaturer og kemisk korrosive miljøer.
Produktfordele
Højvakuumtilpasningsevne: Opfylder kravene til ultrahøjt vakuum på op til 10⁻¹¹Pa·m³/s uden udgasning af forurening.
Langtidsholdbart design: Flerlags bælgstruktur med udmattelsesmodstand på ≥10.000 cyklusser.
Flere tilslutningsmetoder: Flanger (KF/CF), svejsning eller hurtigkoblingsgrænseflader, kompatible med forskellige vakuumstandarder (ISO/DIN).
Tilpasningstjenester: Understøtter tilpasning af forskellige kalibre (DN10~DN500), længder og specialmaterialer (såsom Hastelloy).
Vakuumbælge i rustfrit stål er nøglekomponenter, der sikrer effektiv og stabil drift af vakuumudstyr, og er velegnede til industrielle og videnskabelige forskningsområder med høje krav til renlighed og præcision. Kontakt venligst vores professionelle team for tekniske parametre eller support til valg af produkter!